净化设备系列-FFU净化单元

FFU介绍

FFU（Fan Filter Units）是风机和过滤器的组合，也可以成为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在

洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分

为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效（HEPA）或超高效（ULPA）过滤器，为洁净室

提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，

从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为

工业洁净室的流行系统形式之一。

FFU具有特点

1.灵活性，因为FFU是自带动力的，它不受区域限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制，而且

，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要做相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会

带来第二次投资。

2.可再利用性，从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好妥善保管，留待下次使用。

3.负压通风，这是FFU独特的特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压，这样，

静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄露到洁净区内，使得密封变的很简单而且安全。

4.缩短建设周期，使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净过程中，占掉很大的建设周期。任何一个

投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。

5.减少运行成本，虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现节能，免维护等特点

。用在循环减少40%的运行成本。